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直线栅尺 | 机床加工的精准,还得看它

2020-11-02




直线栅尺为广大加工机行业所熟知,经常被应用于数控机床及高精度测量设备上,来检测直线位移或是角度位移。

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作为一把“尺子”直线栅尺自身的精度固然决定了数控机床的品质。在车床、铣床等通用机床,以及包括专有设备在内的所有机床、专业机械、半导体制造装置,精密测量仪器等方面,直线栅尺已经逐步替代了传统的刻度盘定位操作,大幅提高了机器的工作效率。

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三丰CMM均采用自社研发的栅尺,保证高精度测量



直线栅尺的应用


01、半导体装置

用于切割锯的定位

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02、曝光装置

用于扫描台的定位

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03、电子显微镜

用于掩膜的观测/电路图案的测长等

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04、各种NC机床

用于高精度全闭环控制

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05、电子元件安装机

用于电子元件的高速、高精度安装

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06、FPD检查装置

用于缺陷检查、修复定位

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栅尺的一条龙生产

三丰栅尺在日本宇都宫事业所的清原生产部一条龙生产,这里集线性编码器用玻璃栅尺的制造、电装部件的组装、产品的组装、检查于一身,并运用这一优势,不断地推进栅尺的高精度化和质量的提升。


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清原生产部的地下研究楼


具备高精度刻度加工、精密测量所需要的环境

利用清原稳固的地基和地下9m稳定的环境特性,可以最大限度抑制全年温度、湿度的变化和外部振动的传播。在这栋研究楼中开展的标准刻度的制作、相关精度评估及各种研究,是线性栅尺的精度、品质的保障。




三丰栅尺高信赖性

线性编码器的精度保证,需要高度可靠的评估系统。

清原生产部的地下研究楼内设有自主开发的超高精度测长机,作为线性编码器评估系统,该设备不仅拥有地下稳定的周围环境,而且实现了激光干涉测长光路的真空化,最大限度排除了不确定性因素。

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高可靠度的评估系统


该设备的误差达到世界级水平,这在国际间的相互比较中也得到了确认。凭借高超的技术水平,曾荣获2004年度精密工学会论文奖、2005年度发那科FA机器人财团FA论文奖。



可追溯性

三丰直线栅尺可溯源到日本国家基准。

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▲栅尺的溯源体系图



栅尺的分类

线性编码器根据控制方式的不同,外观结构的不同,原点确立方式,检出原理等可分为多种类型。


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分类如此“复杂”,怎样才能选择出最适合的那款栅尺呢?下一期将介绍栅尺的选型,敬请关注哟。

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